低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。
低温泵的特点
1）在结构上对称布置，使泵在低温下均匀收缩。为了保持低温和防止介质泄漏，采用双壳体的结构。
2）为了防止摩擦发热而导致液化气汽化而烧坏摩擦面，多采用平衡孔、对称布置和止推轴承，很少采用平衡盘来平衡轴向力（必要时采用平衡鼓）。
3）为了改善吸入条件、气体分离、不受气温的影响和轴向伸缩，采用立式简袋泵结构较为有利。
4）在结构上还应避免低温脆性的影响。
5）轴承应注意低温的影响，如同间隙大小并适当选取摩擦性能好的材料（如四氟乙烯、石墨等）。
6）轴承应考虑干摩擦的可能并采取防止冻结的措施和启动的预冷的措施。
7）选用材料时应注意材料的低温脆性。
8）在使用时应采取保冷、除湿、预冷、防冻等措施
